Радиочастотный генератор плазмы РПГ-250 — ООО "ЛВТ+"

Name: Радиочастотный генератор плазмы РПГ-250
Brand: RPG
SKU: 187624
Availability: InStock

Бренд: RPG

₽250,000 - ₽500,000 RUB

MOQ: 1 pieces

Ключевые характеристики

Назначение: Создание и поддержание газоразрядной низкотемпературной плазмы в рабочих объёмах вакуумных технологических установок в непрерывном режиме.

Пылевлагозащита: Есть

Охлаждение: Водяное

Тип конструкции: Встраиваемый

Информация о поставщике

ООО "ЛВТ+"

🇷🇺 📦 🏭 🛡️

Все товары поставщика (37)

Быстрый запрос

Описание

Безэлектродный радиочастотный генератор плазмы предназначен для создания и поддержания газоразрядной низкотемпературной плазмы в рабочих объёмах вакуумных технологических установок в непрерывном режиме и применяется при:

- напылении материалов в плазме инертных или химически активных газов

- ионном и плазмохимическом травлении

- испарении, с дополнительной ионизацией паров

- плазмостимулированном осаждении из газовой фазы

- ионной модификации поверхности (окисление, восстановление, азотирование, карбидизация)

- ионной очистки и ассистировании

- высокотемпературном отжиге

РПГ-250 снабжен:

- плоской катушкой

- съёмным защитным экраном из кварцевого стекла для защиты рабочей поверхности

- коаксиальным вводом с хвостовиком для подключения к источнику ВЧ мощности

*Руководство по эксплуатации предоставляется по запросу: ЛЦМК.208.00.00.00.000 РЭ РАДИОЧАСТОТНЫЙ ГЕНЕРАТОР ПЛАЗМЫ РПГ-250

Допускается поставка устройства в составе установки без упаковывания.

Характеристики

Назначение

Создание и поддержание газоразрядной низкотемпературной плазмы в рабочих объёмах вакуумных технологических установок в непрерывном режиме.

Пылевлагозащита

Есть

Охлаждение

Водяное

Тип конструкции

Встраиваемый

Гарантийный срок

1 г;^лет

Климатические исполнения

ГОСТ 15150-69; ГОСТ 15543-70 при нормальных значениях климатических факторов внешней среды - УХЛ для категории размещения изделий 4.2

Рабочая частота генератора для возбуждения газоразрядной низкотемпературной плазмы

13,56

Максимальная подводимая ВЧ мощность

1500 Вт

Минимальная ВЧ мощность

300 Вт

Минимальное расстояние между рабочей плоскостью устройства и проводящими деталями, не менее

75 мм

Диапазон рабочих давлений

0,1-10

Плотность ионного тока на обрабатываемом образце, расположенном на расстоянии от рабочей плоскости устройства 150 мм, не менее м

10*

Рабочий газ

Любой, не вызывающий осаждения низкоомных слоёв на деталях устройства

Минимальный диаметр цилиндрической рабочей камеры при осевом расположении устройства

250 мм

Минимальный расход охлаждающей жидкости, не менее л/мин

1,5

Минимальная разница давлений между подачей и сливом охлаждающей жидкости

0,2 МПа

Габаритные размеры, (общая длина х диаметр корпуса х высота корпуса х диаметр ввода х длина ввода)

₽5,000,000-₽15,000,000 RUB

Промышленное оборудование

Напрямую с завода из России

ООО "ИЗТМ-ИНЖИНИРИНГ" 🇷🇺

Радиочастотный генератор плазмы РПГ-250 — ООО "ЛВТ+"

Ключевые характеристики

Описание

Характеристики

Похожие товары

Машина раскладки проволоки

Диафрагма 30 ступени 47Т230-3219

Блок зажимной, артикул 846.015

Машина натяжения проволоки

Углошлифовальная машина МШУ2-9-125Э "Professional" (в коробке) ИДФР298135002-03К1

Поворотный стол мод. ТДМ-600

Обойма диафрагмы ПС.100.125.02.000

316000630643200 Ролик стопора ограничителя

Электромеханическая тормозная система ЭМТС-1М

Дрель-миксер МД1-11Э М "Мастер" (в коробке) ИДФР298179001-01

Дизельный двигатель внутреннего сгорания ЯМЗ-53642 и его модификации

Изгибатель

Двигатель дизельный ДМ-185

Дизельный двигатель MMZ-3LD

Модульная установка газобаллонная МУГБ 30/250, ТУ 25.29.12-001-00407003-2024

Ударный молоток 4V303D

Гидрозатвор ГЗ

Шахтные автоматические вентиляционные двери (ШАВД)

Паровая турбина Т-60/66-10,2

Стан калибровочный

Связанные категории

Найти похожие товары по категории

Популярные бренды