Количество МРУ в установке — 2 шт.;
Обработка подложек в одном технологическом цикле (односторонняя обработка): 60х48 — 17 шт.;
Нагрев подложек до 300° С;
Контроль толщины резистивной плёнки по сопротивлению;
Количество ионных источников — 1 шт.;
Безмасляная система откачки (ТМН1300);
Микропроцессорная система управления;
Мощность потребления не более 4,5 кВт;
Площадь, занимаемая одной установкой ~ 3 м2.
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков