Установка физического осаждения многослойных структур РЛГЕ.443255.501 (коммерческое наименование «Feba 4MI-100-G») | ООО "КВАНТ" | Опт от производителя
1
Описание запроса
2
Контактные данные
Что вам нужно?

Опишите товар или услугу, которую вы ищете

Ваши контактные данные

Мы свяжемся с вами в ближайшее время

Запрос отправлен!

Спасибо! Мы свяжемся с вами в ближайшее время с лучшими предложениями.

Установка физического осаждения многослойных структур РЛГЕ.443255.501 (коммерческое наименование «Feba 4MI-100-G»)

Установка физического осаждения многослойных структур РЛГЕ.443255.501 (коммерческое наименование «Feba 4MI-100-G») — ООО "КВАНТ"

Бренд: Feba
₽15,000,000 - ₽25,000,000 RUB
MOQ: 1 pieces

Ключевые характеристики

Кинематическая производительность (условный процесс 40 с/ камеру): 30 пластин/ час
Привносимая дефектность, не более: Частицы больше 0,3 мкм, не более 0,1 шт./см2
Неравномерность нанесения слоев по толщине, не более: 2 %
Неравномерность температуры по столику, не более: 1.5 °С

Описание

Установка физического осаждения многослойных структур РЛГЕ.443255.501 (коммерческое наименование «Feba 4MI-100-G») предназначена для нанесения в одном вакуумном цикле многослойных структур, включающих адгезионные, барьерные, проводящие, изолирующие слои нитридов, оксидов, металлов и полупро-водников, с помощью методов магнетронного распыления (DC, RF, HiPIMS).

Характеристики

Кинематическая производительность (условный процесс 40 с/ камеру)
30 пластин/ час
Привносимая дефектность, не более
Частицы больше 0,3 мкм, не более 0,1 шт./см2
Неравномерность нанесения слоев по толщине, не более
2 %
Неравномерность температуры по столику, не более
1.5 °С
Точность поддержания температуры при дегазации и нанесении материалов, не хуже
0.5 °С
Максимальная температура нагрева при дегазации и нанесении материалов, не менее
350 °С
Возможность дегазации, нагрева, ионно-плазменной очистки перед нанесением слоев
Да; нет

Похожие товары

Molecular Deposition System UMN-4P/30 for Functional Nano Coatings

Установка молекулярного наслаивания УМН-4П/30

₽4,500,000-₽7,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
ООО "ИЦ МН" 🇷🇺
Automated Thermal Vacuum Unit "AGAT-3-2

Установка автоматизированная термическая вакуумная "АГАТ-3-2"

₽2,500,000-₽5,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
ООО "МЕГАХИМ-ПРОЕКТ" 🇷🇺
Molecular Layer Deposition System UМН-4П/Д150

Установка молекулярного наслаивания УМН-4П/Д150

₽5,000,000-₽10,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
ООО "ИЦ МН" 🇷🇺
Magnetron Sputtering Vacuum Coating System Magna TM 22

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ МАГНА ТМ 22

₽15,000,000-₽25,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
АО НИИТМ 🇷🇺
Magnetron Sputtering Vacuum Coating System MAGNA TM 7

Вакуумная установка нанесения плёнок методом магнетронного распыления МАГНА ТМ 7

₽7,000,000-₽12,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
АО НИИТМ 🇷🇺
Automated Ion-Plasma Coating System MAP-2M

Автоматизированная ионно-плазменная установка МАП-2М

₽15,000,000-₽30,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
НИЦ "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ" - ВИАМ 🇷🇺
Four-Position Vacuum Coating System with Magnetron Sputtering and Electron Beam Evaporation, Model: 4P-VAC-2023

Четырёхпозиционная вакуумная установка нанесения плёнок методом магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения со шлюз

₽15,000,000-₽25,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
АО НИИТМ 🇷🇺
Molecular Layer Deposition System for Functional Nanocoatings

Установка молекулярного наслаивания

₽7,000,000-₽15,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
ООО "ИЦИР" 🇷🇺
Automated PECVD System for Efficient Reactor Plate Handling PLU

PLU PECVD (опытно-промышленная установка, автоматизирующая процесс укладки, загрузки, выгрузки, переворота 2 реакторами ПХО)

₽15,000,000-₽30,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
ООО"НТЦ ТПТ" 🇷🇺
Automated PVD Process Installation for Efficient Plate Handling PLU PVD

PLU PVD (опытно-промышленная установка, автоматизирующая процесс укладки, загрузки, выгрузки, организованный на принципах бескон

₽15,000,000-₽30,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
ООО"НТЦ ТПТ" 🇷🇺
Multi-functional Robotic Complex for Cutting, Welding, Cleaning, Melting Metal SEKIRUS MRLC

Многофункциональный роботизированный комплекс для резки, сварки, очистки, плавки металла SEKIRUS MRLC

₽15,000,000-₽30,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
ООО "ТД "ГЕФЕСТ" 🇷🇺
Lightweight Multifunctional Robot for Loading and Unloading - RX-15

РОБОТ 6-ТИ ОСЕВОЙ RX-15 ROBOTECH

₽1,500,000-₽2,500,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
ООО "РОБОТЕХ" 🇷🇺
Multifunctional Robotic Complex ROYN

Роботизированный комплекс РОИН

₽7,000,000-₽12,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
ООО "ВЗРГ" 🇷🇺
Lightweight Multifunctional Robot RX-5 for Handling Up to 5kg

РОБОТ 6-ТИ ОСЕВОЙ RX-5 ROBOTECH

₽1,500,000-₽2,500,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
ООО "РОБОТЕХ" 🇷🇺
Multi-Functional Coating Application Complex (TSZP)

Многофункциональный комплекс (ТСЗП) нанесения покрытий газотермическим методом

₽15,000,000-₽30,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
ООО "ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ" 🇷🇺
Mid-Class Multifunctional Robot ROIN with Modular Design

Роботизированный комплекс РОИН среднего класса

₽15,000,000-₽25,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
ООО "ВЗРГ" 🇷🇺
Multi-Position Vacuum Loading-Unloading Module RLG.E.443295.001

Модуль загрузки-выгрузки вакуумный многопозиционный РЛГЕ.443295.001

₽1,500,000-₽3,000,000 RUB
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
ООО "КВАНТ" 🇷🇺
Vacuum Loading-Unloading Module Single Position RLG.E.443299.001

Vacuum Loading-Unloading Module Single Position RLG.E.443299.001

Contact for price
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
QUANT LLC 🇷🇺
Atmospheric Loading-Unloading Module RLG.442291.001

Atmospheric Loading-Unloading Module RLG.442291.001

Contact for price
Промышленное оборудование
Напрямую с завода из России
QUANT LLC 🇷🇺
Запрос через WhatsApp