Платформа вакуумных напылительных установок Kepler предназначена для создания крупногабаритного напылительного оборудования. Установки, построенные на данной платформе, используются на мелкосерийном и серийном производстве.
Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств на боковых стенках и дверях вакуумной камеры, при котором значительно упрощается обслуживание технологических устройств. При этом подложки размещаются на подложкодержателе планетарного типа.
Вакуумная камера имеет форму многогранника или вертикального цилиндра.
Преимущества
•Высокая производительность.
•Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
•Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
•Возможность использования нескольких технологических устройств: магнетрон, вакуумно-дуговой испарите...
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков