Платформа вакуумных напылительных установок Kurchatov предназначена для создания высокопроизводительного напылительного оборудования. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования в серийном и крупносерийном производстве.
Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств на боковых стенках вакуумной камеры в специальных откидывающихся отсеках, при котором значительно упрощается смена мишеней и обслуживание технологических устройств. Подложки располагаются на плоском подложкодержателе, который перемещается в технологической камере по принципу конвейера.
Преимущества:
Высокая производительность
Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304
Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки
Возможность использования нескольких технологических устройст...
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков