Тип и количество МРУ в установке:
Магна 11, постоянного тока – 2 шт.;
Магна 12, постоянного тока – 1шт., ВЧ – 1 шт.;
Групповая обработка подложек в одном технологическом цикле
(односторонняя обработка): Ø100 мм – 4 шт., Ø150 мм – 2 шт.;
(двусторонняя обработка): 60х48 – 6 шт.;
Периодический поворот подложкодержателя на 90°;
Количество ионных источников – 1 шт.;
Микропроцессорная система управления;
Безмасляная система откачки;
Мощность потребления не более 4,5 кВТ.
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков