Групповая обработка подложек: Ø76мм, Ø 100мм, Ø150мм;
Две шлюзовые камеры для загрузки – выгрузки подложек из кассеты в кассету;
Конвейерная система непрерывного транспортирования подложек;
Предварительный нагрев подложек ламповым нагревателем и их очистка источником ионов;
Безмасляная система откачки;
Мощность потребления не более 25 кВт.
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков