Установка вакуумного напыления «Оратория 29М», предназначенную для нанесения
металлических пленок алюминия, титана, никеля, молибдена на кремниевые пластины для
микроэлектроники диаметром 76 мм и 100 мм.
Установка обеспечивает:
-автоматическую откачку рабочей камеры, шлюзовой
камеры загрузки пластин, шлюзовой камеры выгрузки пластин и напуск газа в них;
-автоматическую загрузку пластин на конвейер из кассеты
и выгрузку пластин в кассету;
-производительность не менее 100 пластин в час без учета времени
откачки шлюзовых камер;
-время достижения остаточного давления 1,33 х 10-2 Па в рабочей камере
с момента открытия высоковакуумного затвора не более 30 мин;
-регулирование скорости конвейера в диапазоне
от 120 до 400 мм/мин;
-регулирование тока галогенной лампы
КГ 220-2000-2 нагрева пластин в диапазоне от 3 до 6 А;
-регулирование давления аргона в зоне осаждения
в диапазоне от 0,4 до 1,3 Па;
-работу трех магнетронов в диапазоне мощности
каждого от 0,5 до 6,0 кВт;
-регул...
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков