Назначение:
Реализация технологий уровня 180 — 90 нм.
Особенности:
Предназначен для реализации базовых технологических процессов (БТП) в производстве широкой номенклатуры электронной компонентной базы (ЭКБ) на предприятиях радиоэлектронной промышленности. Кластер состоит из технологических модулей и роботизированной вакуумно-транспортной системы для автоматизированного перемещения пластин диаметром 150,200 мм между процессными модулями с загрузкой/ выгрузкой пластин из кассет или SMIF-контейнеров.
К кластерному комплексу могут пристыковываться любые из восьми технологических (процессных) модулей установок, такие как:
Магна ТМ 200-01К,
Магна ТМ 200-04К,
Плазма ТМ 200-01К,
Плазма ТМ 200-02К,
Плазма ТМ 200-03К,
Плазма ТМ 200-04К,
Изофаз ТМ 200-01К,
Изофаз ТМ 200-02К,
БТО ТМ 200-01К.
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков