Система диффузионная однозонная многотрубная модели СДОМ-3/100 предназначена для автоматической газотермической обработки кремневых пластин диаметром 50…100 мм процессом диффузии и окисления в потоке парогазовой смеси в камере открытого (прямоточного) кварцевого реактора при производстве изделий полупроводниковой электроники при температурах от 600°С до 1200°С (кратковременно до 1300 °С).
Внутренний диаметр нагревательной камеры, мм-160;
Внутренний диаметр нагревательного элемента не менее 180 мм;
Длина рабочей тепловой зоны не менее 600 мм;
Время разогрева электропечи до максимальной рабочей температуры не более - 2 ч;
Рабочая среда газообразные: аргон, кислород, азот, - увлажненный кислород (увлажненный азот);
- погрешность распределения температуры по длине рабочей зоны, не более, °С - ±1,0.
Средний срок службы не менее 6 лет.
Габаритные размеры ДхШхВ, мм не более: 4000х1030х2850;
Масса, кг, не более 2200.
Напишите что вам нужно и получите предложения от проверенных поставщиков