Производители — Система осаждения тонких пленок
ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ СО ШЛЮЗОВОЙ ЗАГРУЗКОЙ МАГНА ТМ 22
Вакуумная установка нанесения плёнок методом магнетронного распыления МАГНА ТМ 7
Четырёхпозиционная вакуумная установка нанесения плёнок методом магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения со шлюз